Установки магнетронного напыления серии УНЗП 7080 предназначены для нанесения тонких плёнок на подложку с помощью катодного распыления мишени в плазме магнетронного разряда — диодного разряда в скрещенных полях. Технологические устройства, предназначенные для реализации этой технологии, называются магнетронными распылительными системами или, сокращённо, магнетронами.
Установка обеспечивает:
- ионную очистку изделий перед напылением, нанесение покрытий с четырех магнетронных распылителей (6 кВт каждый)
- нагрев изделий до заданной температуры с возможностью последующего контроля
- автоматическую регулировку подачи рабочих газов в вакуумную камеру, автоматический цикл откачки вакуумной камеры до рабочего уровня
| Конструкторско-технологическая особенность оборудования | Исполнение |
| Метод нанесения покрытий | Магнетронное осаждение с использованием квадрупольных несбалансированных магнетронов |
| Количество магнетронов | 4 |
| Размер мишеней («прямое» охлаждение) | 383х85х6 мм |
| Размер мишеней («косвенное» охлаждение) | 372х74х6 мм |
| Система питания магнетронов | |
| Состав системы питания магнетронов | Две синхронизированные дуальные системы питания магнетронов с независимым заданием параметров (ток, напряжение, длительность импульса,) для каждого магнетрона. |
| Максимальное рабочее напряжение | 1000 В |
| Максимальная мощность | 6 кВт на каждый магнетрон |
| Максимальный импульсный ток | 400А |
| Длительность импульса | 10÷200 мкс |
| Длительность паузы | 2 сек |
| Напряжение смещения, подаваемое на изделия | От 0 до 1000 В |
| Сила тока смещения при Uвых=650-1200В | 3 А |
| Сила тока смещения при Uвых ≤ 150В | 20 А |
| Частота следования импульсов | 0÷40 кГц |
| Характеристики системы АСУТП | |
| АСУТП (автоматизированная система управления технологическим процессом) нанесения покрытия обеспечивает управление и согласование работы всех систем и элементов установки и должна включать в себя следующие компоненты | Распределенная система управления (РСУ); система противоаварийной автоматической защиты (ПАЗ); периферийное оборудование (датчики, преобразователи, распределенные механизмы) |
| АСУТП | Система сигнализации работает только в автоматическом режиме. В полуавтоматическом и ручном режимах управления оператор должен разбираться в устройстве машины и тех. Процессе и иметь возможность самостоятельно диагностировать ее состояние |
| Обеспечивает защиту АСУТП нанесения покрытия | От несанкционированного доступа; от разрушения или останова работы программного обеспечения в результате некорректных действий оператора. При задании рабочих показателей оператором, он видит оповещения о допустимом диапазоне значений. При вводе значения, превышающего данный диапазон, машина работает на максимальном допустимом значении. |
| Система РСУ обеспечивает |
|
| Система ПАЗ обеспечивает |
|
| Технический параметр | Значение |
| Внутренний диаметр рабочей камеры | 640 мм |
| Высота рабочей камеры | 500 мм |
| Предельное значение вакуума в рабочей камере | 3х10-3 Па |
| Максимальное количество одновременно загружаемых в рабочую камеру осевых инструментов D≤ 20 мм, H≤ 200 мм | 56 |
| Максимальное количество одновременно загружаемых в рабочую камеру червячных фрез Ø 60×120 мм | 32 |
| Максимальное количество одновременно загружаемых в рабочую камеру твердосплавных пластин 20×20×6 мм | 400 |
| Контролируемый диапазон частоты вращения планетарного механизма с инструментом | От 0 до 6 об/мин |
| Неравномерность толщины покрытия по высоте на базе 160 мм | 10% |
| Время напуска воздуха в камеру | 30 сек |
| Время достижения в камере давления 6х10-3 Па без прогрева пустого рабочего объема камеры, с начала откачки воздуха из камеры | 8 мин |
| Натекание в камеру после откачки воздуха из камеры в течение 1 часа | 0,3 см3/мин |
| Расход водопроводной воды в режиме откачки | 2 м3/час |
| Расход водопроводной воды в режиме напыления | 6 м3/час |
| Погрешность поддержания заданного расхода рабочего газа (аргон) | 1,5 % |
| Погрешность поддержания заданного давления рабочего газа (аргон) | 10 % |
| Потребляемая мощность в режиме откачки | 2 кВт |
| Потребляемая мощность в режиме напыления | 40 кВт |
| Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации | 3-5 лет |
| Назначенный срок эксплуатации при 2-х сменной работе | 8 лет |
| Общая масса оборудования | 1000 кг |
| Общая площадь размещения | 6 м2 |
