Точность и ответственность
+7 (495) 545-49-69
Установка магнетронного напыления

Установки магнетронного напыления серии УНЗП 7080 предназначены для нанесения тонких плёнок на подложку с помощью катодного распыления мишени в плазме магнетронного разряда — диодного разряда в скрещенных полях. Технологические устройства, предназначенные для реализации этой технологии, называются магнетронными распылительными системами или, сокращённо, магнетронами.

Установка обеспечивает:

  • ионную очистку изделий перед напылением, нанесение покрытий с четырех магнетронных распылителей (6 кВт каждый)
  • нагрев изделий до заданной температуры с возможностью последующего контроля
  • автоматическую регулировку подачи рабочих газов в вакуумную камеру, автоматический цикл откачки вакуумной камеры до рабочего уровня
Конструкторско-технологическая особенность оборудования Исполнение
Метод нанесения покрытий Магнетронное осаждение с использованием квадрупольных несбалансированных магнетронов
Количество магнетронов 4
Размер мишеней («прямое» охлаждение) 383х85х6 мм
Размер мишеней («косвенное» охлаждение) 372х74х6 мм
Система питания магнетронов
Состав системы питания магнетронов Две синхронизированные дуальные системы питания магнетронов с независимым заданием параметров (ток, напряжение, длительность импульса,) для каждого магнетрона.
Максимальное рабочее напряжение 1000 В
Максимальная мощность 6 кВт на каждый магнетрон
Максимальный импульсный ток 400А
Длительность импульса 10÷200 мкс
Длительность паузы 2 сек
Напряжение смещения, подаваемое на изделия От 0 до 1000 В
Сила тока смещения при Uвых=650-1200В 3 А
Сила тока смещения при Uвых ≤ 150В 20 А
Частота следования импульсов 0÷40 кГц
Характеристики системы АСУТП
АСУТП (автоматизированная система управления технологическим процессом) нанесения покрытия обеспечивает управление и согласование работы всех систем и элементов установки и должна включать в себя следующие компоненты Распределенная система управления (РСУ); система противоаварийной автоматической защиты (ПАЗ); периферийное оборудование (датчики, преобразователи, распределенные механизмы)
АСУТП Система сигнализации работает только в автоматическом режиме. В полуавтоматическом и ручном режимах управления оператор должен разбираться в устройстве машины и тех. Процессе и иметь возможность самостоятельно диагностировать ее состояние
Обеспечивает защиту АСУТП нанесения покрытия От несанкционированного доступа; от разрушения или останова работы программного обеспечения в результате некорректных действий оператора. При задании рабочих показателей оператором, он видит оповещения о допустимом диапазоне значений. При вводе значения, превышающего данный диапазон, машина работает на максимальном допустимом значении.
Система РСУ обеспечивает
  • Проведение технологического процесса (ТП) нанесения покрытий при постоянном давлении рабочего газа (аргона - в металлическом режиме, аргона и азота – в реактивном режиме) с точностью поддержания давления не менее ± 0,05 Па
  • Проведение реактивного режима нанесения покрытия при постоянной, наперед заданной, концентрации (парциальном давлении) реактивного газа вне зависимости от общей площади поверхности покрываемых изделий в загрузке
  • Возможность корректировки в реальном масштабе времени заданных определяющих параметров процесса нанесения покрытия (рабочих давлений, концентраций реактивного газа, токов и напряжений магнетронного разряда, потенциала смещения, временных параметров импульсов, длительности технологических стадий и др.) во время проведения ТП без его останова
  • Возможность создания в технологическом процессе повторяющихся циклов из операций и стадий техпроцесса
  • Отображение и логирование сообщений о выполняемых действиях и ошибочных ситуациях
  • Получение информации от системы ПАЗ, сигнализацию и регистрацию срабатываний ПАЗ
  • Диагностику и выдачу сообщений по отказам элементов установки
Система ПАЗ обеспечивает
  • Автоматизированный сбор аналоговой и дискретной информации от датчиков технологических параметров и параметров состояния исполнительных механизмов установки
  • Автоматическую выдачу сигналов управления на исполнительные механизмы
Технический параметр Значение
Внутренний диаметр рабочей камеры 640 мм
Высота рабочей камеры 500 мм
Предельное значение вакуума в рабочей камере 3х10-3 Па
Максимальное количество одновременно загружаемых в рабочую камеру осевых инструментов D≤ 20 мм, H≤ 200 мм 56
Максимальное количество одновременно загружаемых в рабочую камеру червячных фрез Ø 60×120 мм 32
Максимальное количество одновременно загружаемых в рабочую камеру твердосплавных пластин 20×20×6 мм 400
Контролируемый диапазон частоты вращения планетарного механизма с инструментом От 0 до 6 об/мин
Неравномерность толщины покрытия по высоте на базе 160 мм 10%
Время напуска воздуха в камеру 30 сек
Время достижения в камере давления 6х10-3 Па без прогрева пустого рабочего объема камеры, с начала откачки воздуха из камеры 8 мин
Натекание в камеру после откачки воздуха из камеры в течение 1 часа 0,3 см3/мин
Расход водопроводной воды в режиме откачки 2 м3/час
Расход водопроводной воды в режиме напыления 6 м3/час
Погрешность поддержания заданного расхода рабочего газа (аргон) 1,5 %
Погрешность поддержания заданного давления рабочего газа (аргон) 10 %
Потребляемая мощность в режиме откачки 2 кВт
Потребляемая мощность в режиме напыления 40 кВт
Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации 3-5 лет
Назначенный срок эксплуатации при 2-х сменной работе 8 лет
Общая масса оборудования 1000 кг
Общая площадь размещения 6 м2
Установка магнетронного напыления Установка магнетронного напыления Установка магнетронного напыления